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高純氣體的充裝流程

時間: 2021-05-12瀏覽次數：

高純氣體的充裝流程主要有三步，一準備工作，二抽空操作，三管道保壓操作。一、準備工作： 1、氣瓶上架。 2、微開閥門通入0.2MPa壓力 3、檢查充裝軟管與氣瓶連接是否泄漏。 4、關

　　高純氣體的充裝流程主要有三步，一準備工作，二抽空操作，三管道保壓操作。

　　一、準備工作：

　　1、氣瓶上架。

　　2、微開閥門通入0.2MPa壓力

　　3、檢查充裝軟管與氣瓶連接是否泄漏。

　　4、關閉閥門，開啟充裝排放空閥，泄壓至0.

　　5、目測壓力表是否為0。

　　二、抽空操作：

　　1、開啟真空泵，同時抽空匯流排，負壓值≥0.1MPa，繼續抽真空15~30min，關閉抽空管道截止閥后，停止真空泵;

　　2、緩慢開啟抽空總閥。

　　3、真空表指示值<-0.1MPa

　　4、抽空5~15分鐘后。

　　5、關閉抽空總閥。

　　6、開啟通氣閥。

　　7、關閉真空泵，抽空結束。

　　三、管道保壓操作:

　　1、高純氣體的充裝結束后，關閉充裝排總閥。

　　2、30分鐘后目測壓力表壓降低于10~15%。

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